在半導(dǎo)體生產(chǎn)中,特別是在物理和化學(xué)氣相沉積、蝕刻等工藝中,需要溫度控制設(shè)備來(lái)控制溫度。半導(dǎo)體冷水機(jī)組是一種特殊的制冷設(shè)備,可以精確控制負(fù)載溫度,實(shí)現(xiàn)過(guò)程范圍內(nèi)的溫度控制。在這方面,卡得利相當(dāng)不錯(cuò),富士康和華為的直接或間接企業(yè)都可以使用。
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